微小孔特种加工

近年来，航空、航天及汽车、化工、电子等行业产品对微小孔结构（通常将0.3mm 以下的孔称为微孔，0.3~1mm的孔称为小孔）的加工需求日益增加，典型的有发动机燃油喷嘴、涡轮叶片冷却孔、化纤喷丝板上的异型孔及陀螺仪上的微孔等。这些微小孔往往具有大深径比、材料强度高等特点。而超声加工技术被认为是目前实现微小孔加工的重要手段之一。

微小孔的特种加工方法目前主要有电火花加工、超声加工、激光加工等。其主要特点是利用电能、热能、光能以及特殊机械能中的一种实现工件材料的去除。

电火花制孔：

电火花制孔是采用瞬间高能量的电流将孔的金属材料“烧穿”的方式，因为是融熔态的“烧穿”，所以孔的内壁常挂有熔蚀瘤，孔道不直，出现喇叭孔，孔壁光洁度（粗糙度）不够。孔内部产生重熔层，使金属表层质地变得不均匀。

激光制孔：

激光制孔是利用激光束的热效应在极短的时间内将材料加热至蒸发，实现材料的蚀除，加工后的孔精度不高，孔质量差，另外只适合在薄板材上打孔。

超声钻削打孔：

超声钻削打孔属于机械冷加工，使用传统钻头，利用超声钻削方式加工，不会产生重熔层，能获得理想的孔壁形状和光洁度。超声加工也能够加工非导电硬脆材料且加工的表面质量较好，此外，加工中工具的损耗较小，微小孔的加工精度采用较小粒度的磨粒可以改善入口崩边等问题。

电火花、激光、超声制孔对比：